Diseño de experimentos y prácticas de laboratorio para la enseñanza en técnicas de micro y nanofabricación

Abstract

Una de las ramas importantes de la nanotecnología es la fabricación de estructuras y dispositivos a nivel de la nanoescala, es de gran importancia para las nuevas generaciones de estudiantes y profesionistas prepararse y adquirir experiencia desde la licenciatura en las técnicas de nanofabricación y de igual manera en la propia fabricación de productos y dispositivos nanotecnológicos básicos, como lo son los dispositivos electrónicos, MEMS, sensores etc. Dentro del Centro de Nanociencias y Nanotecnología se encuentra ubicado el Laboratorio Nacional de Nanofabricación de reciente creación donde se podrán desarrollar este tipo de técnicas para la fabricación de nanoestructuras y nanodispositivos. Aprovechando la infraestructura disponible, en este proyecto se propone la inducción y formación de los estudiantes de la Licenciatura en Nanotecnología de nuestro centro a este tipo de instalaciones de punta y las técnicas de nanofabricación, en un espacio de ambiente controlado libre de partículas. Para esto se propone la elaboración de experimentos, prácticas y material didáctico en el área de nanofabricación dividido en tres etapas. La primera conlleva la elaboración de experimentos, prácticas, manuales y material didáctico enfocado a las técnicas básicas de fabricación como lo son recubrimientos, decapado, transferencia de patrones y demás técnicas para el grabado de estructuras micro y nanométricas. La segunda etapa, comprende de manera similar la elaboración de experimentos, prácticas, manuales y material didáctico para la fabricación de dispositivos nanotecnológicos básicos en el área de MEMS y Nanomáquinas, así como la caracterización de los mismos. La tercera y última etapa se centrará en la elaboración del mismo material pero enfocado a la fabricación de dispositivos básicos en el área de electrónica y sensores, así como la caracterización de dichos dispositivos.